微奈米科技研究中心 Center for Micro/Nano Science and Technology, CMNST

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核心技術團隊

A.  奈米製程技術團隊

助理研究員 暨 奈米微影製程技術長

1. 奈米微影製程核心技術的建立與提升
2. 石墨烯製程技術開發
3. 微影代工的技術提升與業務推展
4. 任務型計畫的規劃執行
CV下載
E-mail: cjchung@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#234 (辦公室)、31383#219~223 (實驗室)

資深技術工程師  暨  計畫經理

【專長】
E-Beam Lithography、Raman Spectroscopy
【負責機台】
電子束微影系統、晶圓切割機微拉曼及微光激發光譜儀(含低溫)
【學經歷】
南台科技大學化學工程所碩士
2004.7~2009.7 成大環境研究中心
2009.7~2010.7 成大醫工所
2010.9~  成大微奈米科技研究中心

E-mail:yingmei@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#305 (辦公室)、31383#219~223 (實驗室)

資深技術工程師

 

【專長】
Micro/Nano lithography technology and related system management
Shallow etching of Si/SiNx/SiOx by RIE
Deep etching of Si-based material by inductively-Coupled plasma etching
【負責機台】
反應式離子蝕刻機、感應式耦合離子電漿
【學經歷】
中央大學環境工程研究所碩士
2006.02~2015.01 台積電 資深工程師
2015.01~     成大微奈米科技研究中心

E-mail:chhuangzg@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#306 (辦公室)、31383#220~223 (實驗室)

技術工程師

 

【專長】
半導體製程整合
元件電性分析
【負責機台】
CO2雷射雕刻機、二氧化碳超臨界乾燥機
【學經歷】
清華大學光電所碩士
2010.11~2014.09 台積電 工程師
2015.07~     成大微奈米科技研究中心

E-mail:tzuhsin@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#208 (辦公室)、31383#220~223 (實驗室)

技術工程師

 

【專長】
Wafer Manufacturing Process
【負責機台】
奈米壓印-熱壓成型奈米轉印機、雙面對準/UV光感奈米壓印機
【學經歷】
清華大學工程與系統科學系碩士
2014.07~2015.11 群創光電 高級工程師
2015.12~     成大微奈米科技研究中心

E-mail:laratsai@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#213 (辦公室)、31383#220~223 (實驗室)

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B. 奈米表面與磊晶技術團隊

助理研究員 暨 奈米表面與磊晶技術長

1. 核心技術的建立與提升
2. 研究的技術開發與協助
3. 代工的技術提升與業務推展
4. 任務型計畫的規劃執行
CV下載
E-mail:cc_lin@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#218 (辦公室)、31383#220~223 (實驗室)

助理研究員

1. 核心技術的建立與提升
2. 研究的技術開發與協助
3. 代工的技術提升與業務推展
4. 任務型計畫的規劃執行
CV下載
E-mail:phoebe@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#235 (辦公室)、31383#207, 220~223 (實驗室)

資深技術工程師

【專長】
半導體製程與元件分析
材料分析
【負責機台】
電子束蒸鍍機 I & II、1 & 2 & 3吋化學氣相沉積石墨烯設備
【學經歷】
成功大學材料科學及工程研究所碩士
2002.07~2013.09 聯電 資深主任工程師
2014.05~     成大微奈米科技研究中心

E-mail:pulp@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#233 (辦公室)、31383#220~223 (實驗室)

技術工程師

【專長】
地質相關、 環境 &奈米材料
【負責機台】
奈米壓痕試驗機 I & II、奈微拉伸試驗機、In-situ Nano-indentator、聚對二甲基苯沉積系統

【學經歷】
台灣大學地質所碩士
2013.03~2013.06 成大能源研究中心
2013.08~2015.07 成大地球科學系
2015.08~     成大微奈米科技研究中心

E-mail:shioujen@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#209 (辦公室)、31383#210, 216, 220 (實驗室)

技術工程師

【專長】
薄膜製程和二維材料特性分析、半導體元件與製作技術
【負責機台】
原子力顯微鏡 AFM (NT-MDT & Bruker)、Dimension Icon多功能掃描式探針顯微鏡、半導體元件量測平台、表面粗度儀
【學經歷】
台灣海洋大學光電所碩士
2013.09~2014.07 聯電 高級工程師
2014.07~2015.05 群創光電 高級工程師
2015.09~     成大微奈米科技研究中心

E-mail:weiching@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#206 (辦公室)、31383#207, 220 (實驗室)

資深技術工程師

【專長】
半導體製程整合、半導體元件開發
【負責機台】
共濺鍍機、1&2吋化學氣相沉積石墨烯設備
【學經歷】
成功大學微電子工程研究所碩士
2007.01~2016.02 聯電 主任工程師
2016.02~     成大微奈米科技研究中心

E-mail:jimcheng@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#312 (辦公室)、31383#220~223 (實驗室)

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C.  奈米材料分析技術團隊

謝伯宗 博士
助理研究員 暨 奈米材料分析技術長

1. 核心技術的建立與提升
2. 研究的技術開發與協助
3. 代工的技術提升與業務推展
4. 任務型計畫的規劃執行
CV下載
E-mail:pthsieh@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#247 (辦公室)、31389#217 (實驗室)

資深技術工程師

【專長】
穿透式電子顯微鏡技術:一般成像/繞射功能/高分辨影像/掃描明暗場像/電子能量損失圖譜技術
掃描式電子顯微鏡技術:表面結構觀察、成分分析、陰極發光成像
動態光散射儀技術:粒徑分析及Zeta-Potential分析
【負責機台】
高解析場發射掃描穿透式電子顯微鏡 (TEM 2100)、精密離子拋光機
【學經歷】
中山大學化學所碩士
2003.8~   成大微奈米科技研究中心

E-mail:shihwen@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#248 (辦公室)、31389#217 (實驗室)

資深技術工程師

【專長】
乾蝕刻技術:III-V蝕刻與光罩蝕刻
掃描式電子顯微鏡技術:表面結構觀察與成分分析
雙束型聚焦離子束DB-FIB技術:TEM試片製備、特殊圖形加工
【負責機台】
雙束型聚焦離子束儀 I (DB-FIB)、鍍金機、研磨拋光機
【學經歷】
清華大學理學院化學所碩士
1997.7~2000.6 全磊微機電光電部
2000.7~2004.5 百瑟系統 (Unaxis)半導體事業部
2004.4~2006.7 國聯光電製造部
2006.8~     成大微奈米科技研究中心

E-mail:mei0421@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#246 (辦公室)、31389#209, 214 (實驗室)

技術工程師

【專長】
表面磊晶技術:電子束物理真空金屬鍍膜
掃描式電子顯微鏡技術:表面結構觀察與成分分析
雙束型聚焦離子束DB-FIB技術:TEM試片製備、特殊圖形加工
【負責機台】
高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡 II (SEM 7001)、可變真空掃描式電子顯微鏡 (SEM EVO 50)、桌上型掃描式電子顯微鏡
【學經歷】
崑山科技大學電機工程系學士
2004.10~2006.03 元砷光電磊晶製造部
2006.03~2006.08 大億交通光學研發課
2006.09~2007.10 展茂光電自動化工程課
2007.11~   成大微奈米科技研究中心
E-mail:hiwett@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#215 (辦公室)、31389#211~213 (實驗室)

資深技術工程師

【專長】
材料化學、奈米生物科技、產品品質的維護、良率的改善
【負責機台】
高解析場發射掃描穿透式電子顯微鏡 (TEM 2010)
【學經歷】
台灣師範大學化學所碩士
2005.07~2014.08   台積電 資深工程師
2014.09~  成大微奈米科技研究中心
E-mail:ycchen@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#243 (辦公室)、31389#215 (實驗室)

技術工程師

【專長】
產品材料分析、碳纖維複合材料、纖維檢測分析
【負責機台】
高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡 I (SEM 7000)
【學經歷】
大同大學材料工程研究所碩士
2016.02~     成大微奈米科技研究中心
E-mail:yenjuwang@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#226(辦公室)、31389#211~213 (實驗室)

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D.  生醫暨非破壞性分析團隊

助理研究員 暨 生醫暨非破壞性分析技術長

1. 核心技術的建立與提升
2. 研究的技術開發與協助
3. 代工的技術提升與業務推展
4. 任務型計畫的規劃執行
CV下載
E-mail:kilin@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#236 (辦公室)、31389#204~206, 208 (實驗室)

技術工程師

【專長】
半導體製程
元件電性及材料分析
光電工程技術開發
【負責機台】
多光子激發掃描顯微鏡、光學顯微鏡、微拉曼及微光激發光譜儀(含低溫)、橢圓偏光儀
【學經歷】
台灣大學工程科學暨海洋工程研究所碩士
2011.09~2014.06 群創光電 高級工程師
2014.07~     成大微奈米科技研究中心
E-mail:sbliu@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#212 (辦公室)、31389#204, 206, 208 (實驗室)

技術工程師  暨  計畫經理

【專長】
Glass technology and manufacture
Thin film deposition
【負責機台】
X光繞射儀、動態光散射儀、接觸角量測儀、奈米粒子追蹤分析儀
【學經歷】
成功大學奈米科技暨微系統工程研究所碩士
2012.09~2015.03 台灣康寧 熔爐工程師
2015.09~2016.01 聖島智產 專利工程師
2016.05~     成大微奈米科技研究中心
E-mail:yttsai@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#258 (辦公室)、31389#204 (實驗室)

技術工程師

【專長】
奈米材料合成
【負責機台】
共軛焦顯微鏡、拉曼光譜儀/顯微鏡、傅立葉轉換紅外光光譜儀、紫外光-可見光-近紅外光分光光譜儀
【學經歷】
成功大學化學系碩士
2015.07~2016.05   日月光半導體 工程師
2016.07~     成大微奈米科技研究中心
E-mail:ptli@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#228(辦公室)、31389#211~213 (實驗室)

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郭英祥 先生
資深工程師

【執掌】
機台營運、Lab及廠務相關之總務
【負責機台】
支援磁控濺鍍機及第一、二團隊機台或實驗操作
【學經歷】
崑山科技大學電機工程系在職專班碩士
1996.05~2007.12 華邦電子 工程師
2008.01~2009.11 世界先進電子 主任工程師
2010.05~     成大微奈米科技研究中心
E-mail:karwen@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#205 (辦公室)、31389#9 (實驗室)

資深環安衛工程師

【執掌】
所有實驗室及無塵室之環境安全衛生、消防安全管理與廢棄物管理;臨時交辦事項。
【負責機台】
化學濕式操作台、旋轉塗佈儀I, II
【學經歷】
雲林科技大學環境與安全工程系學士
2002.11~2009.06 茂德科技 工程師
2011.07~2013.07 住華科技 工程師
2014.05~2015.11 群創光電 高級工程師
2016.02~     成大微奈米科技研究中心
E-mail:hufish@mail.ncku.edu.tw
Tel:06-2757575 ext. 31380#217 (辦公室)、31383#220, 225 (實驗室)

 

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