微奈米科技研究中心 Center for Micro/Nano Science and Technology, CMNST

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微奈米中心
最後更新日期   
2018-01-19

微奈米科技研究中心-多功能掃描探針顯微鏡課程2018.01.30

成功大學微奈米科技研究中心 多功能掃描探針顯微鏡課程

【課程概要】:
        
奈米科技研究驅動產業創新與擴大經濟規模,奈米科技產業包含綠能、半導體、儲能、材料、生物、醫學、化工、機械等領域。不管哪一領域,其元件或產品都是經由數十或數百道製程技術將奈米結構製造與堆疊組合,成為最終產品。奈米結構材料因尺寸小,具有獨特的物理、化學特性,以及很強的表面效應,分析奈米結構的形貌、表面粗糙度、材料分布、電性、光學性質、硬度、黏滯力、等機械性質,是在各製程偵錯與找出解決方法的重要指標,縮短研發時程與提升產品競爭力的重要關鍵。

       掃描探針顯微鏡(SPM)是一系列因應奈米分析技術的需求而衍生的技術。有別於其他奈米顯微術,SPM可以藉由選取合適的探針,透過探針接觸樣品表面的模式與作用力形式,探討物質表面上奈米等級的物理、化學性質,用以偵錯與預測終端產品或元件的效能,大幅度縮短偵錯時程與有效監控產品的品質。最早被發明出來的SPM是掃描穿隧顯微術(Scanning tunnerning microscopy, STM),至今已有超過十種不同的SPM技術。SPM已無疑是關鍵的奈米核心技術,能夠在高科技產業的製程檢測、研發、與偵錯扮演重要的角色,而且,新的SPM技術與更高的解析能力還在進步當中,但許多實驗室及產業界對此技術與應用仍不熟悉。為此,本課程將介紹對於新世代奈米科技產業重要但大多數相關研發人員仍陌生的SPM先進技術與應用,聚焦在綠能與半導體製造領域的產業研發應用案例作介紹,相關技術可以擴展到整個奈米科技產業。並針對學員的興趣與需求,提供客製化的SPM設計分析與先進技術諮詢。

Keywords: Green energy、Nanostructures、Semiconductors、Nanotechnology、Scanning probe microscopy (SPM)、Atomic force microscopy (AFM)、Conductive AFM、Kelvin Probe Force Microscopy, KPFM、Nanomechanical properties、Scanning Microwave Impedance Microscopy (SMIM)、Scanning Electrochemical Microscopy (SEM)、Chemical-mechanical polishing (CMP)

【主辦單位】:國立成功大學微奈米科技研究中心

【招收對象/人數】:綠能、材料、生技、醫療、半導體研發人員或老師,以及有興趣者 /25

【上課日期】:2018年1月30日,星期二

【課表】:

2018年1月30日,星期二

時 間

上課內容

上課地點

授課人

10:00-11:20

SPM分析技術與新世代綠能研發應用

成大(南)自強校區

科技大樓4F  9064

蔡淑如博士

中心助理研究員

11:40-13:00

新穎SPM技術與前瞻半導體產業應用

成大(南)自強校區

科技大樓4F  9064

林凡硯博士

BRUKER, SPM Application Scientist

14:30-16:30

客製化SPM檢測分析與技術諮詢 and/or SPM操作觀摩 and/or中心製程檢測儀器介紹(依學員研發領域與興趣分組進行)

成大(北)自強校區

儀器設備大樓B1

蔡淑如博士

林凡硯博士

郭威慶中心工程師

簡秀真中心工程師

l報名網址:http://cmnst.ncku.edu.tw/

l報名截止日期:2018年1月24日,星期三

l學費/繳費方式:每人3,000元,報到時現場繳費。

l注意事項:

    1. 本課程研修完畢將發予證書。

    2. 已報名但因故無法出席者,請事先通知。

    3. 人數不足15人停開。

    4. 若遇行政院人事行政總處公告停班停課者,則當次課程取消。

l課程內容與客製化技術諮詢:蔡淑如博士   

   電話:06-2757575分機31380轉235   Email: Phoebe@mail.ncku.edu.tw

l報名聯絡方式:林丹琪專員

   電話:06-275757531380202    Email: walin@mail.ncku.edu.tw

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