微奈米科技研究中心 Center for Micro/Nano Science and Technology, CMNST

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微奈米中心

介紹

  中心歷史沿革

國立成功大學微奈米科技研究中心為國立成功大學三個校級研究中心之一,成立於1997年。前身為國科會南區微機電系統研究發展中心,於2002年更名為『微奈米科技研究中心』。在奈米國家型科技計畫以及教育部研究型大學校際整合計畫補助下,累積了豐富的人才培育經驗與尖端研究成果,成為台灣奈米科技研究重鎮。

  中心目標與任務

  • 管理與永續經營開放性實驗室
  • 共同發展具創新產業價值之研究案
  • 支援與發展前瞻學術研究
  • 建置與推廣奈米標章實驗室
  • 帶動周遭區域發展  

  中心儀器設備

本中心有71部各式微奈米製程與檢測設備儀器,集中置於儀器設備大樓B1之165坪Class 1000奈米製程無塵室及125坪之恆溫恆濕奈米檢測分析實驗室,由專業碩士級工程師與博士級研究員管理與維護。所有設備均採公平開放之原則開放使用,採專職技術員代工與合格使用者操作雙軌制。以24小時網路預約儀器服務,提供方便、公開、公平之儀器使用與收費制度。

  共同發展具產業價值之研究案

本中心積極與產學研界進行合作結盟,以成為新型態產學研鏈結中心為目標。結盟單位有南區微奈米科技聯盟各校、工研院、國家奈米元件實驗室、同步輻射研究中心、台南及路竹科學園區、國家高速電腦中心以及相關企業諸如中國鋼鐵股份有限公司、優貝克科技股份有限公司與南茂科技股份有限公司等,藉由多方產官學研交流,加強跨領域與校內外機構組織合作,以提升本中心在全世界的知名度。

  中心研究團隊

本中心在科技部補助之全國八大微奈米中心評比中是全國規模最大、影響力最廣、服務與研究績效最好之微奈米中心。每年服務將近1.5萬人次全國師生、超過50間廠商、100件以上產業檢測報告,具有四大核心技術團隊:1)奈米微影製程技術、2)奈米表面與磊晶技術、3)奈米材料分析技術、4)生醫暨非破壞分析技術。 本中心成立全國第一個「石墨烯暨二維材料元件中心」,發展大面積石墨烯與二維材料製作技術,合成具優異光學性能的石墨烯量子點。搭配奈米元件製程技術,積極發展石墨烯/二維材料之前瞻應用與檢測技術,以尖端研究成果提昇國內產業發展。

本中心成立全國第一個「石墨烯暨二維材料元件中心」,致力打造全國最頂尖的石墨烯暨二維材料與奈米元件研究群,結合本中心強大的軟硬體資源與豐富的製程分析經驗,可望提供全國學術界及產業界於石墨烯/二維材料及奈米元件之最佳解決方案。此外,並發展大面積石墨烯與二維材料製作技術,並合成具優異光學性能的石墨烯量子點,以生產最高品質的石墨烯與二維材料為目標。搭配奈米元件製程技術,積極發展石墨烯/二維材料之前瞻應用,包括能源、生醫與半導體,將研發能量最大化與在地化,以尖端研究成果提昇國內產業發展。

  中心研究/技術亮點

  • 奈米製程技術團隊

本團隊近年來專注於奈米元件之製程研發,將光學微影/電子束微影-乾/溼蝕刻製程進行整合,發展奈米元件製程平台。目前開發出多項特色製程,包含奈米線寬(10 nm)製程、高精準度多層對準(sub-20 nm)微影技術、整合製程(Mix & Match)與超高深寬比蝕刻(AR > 80),並有開發多樣應用元件之經驗,包含光學元件、電子元件、壓印模板、3D結構等。

  • 奈米表面與磊晶技術團隊

本團隊主要以二階段合成技術,成功成長出高品質層狀MoS2於SiO2/Si晶圓上,且晶圓尺寸可達4吋。所成長之MoS2經拉曼、螢光光譜檢測顯示其結晶性佳,且具半導體特性。

  • 奈米材料分析技術團隊

本團隊由專業的工程師,從材料試片製備到觀測分析具有一套完善的委託服務,在試片製備的方法、拍攝技巧及基礎專業知識的判斷能力上皆呈現出高精確的專業檢測水準。另外,與本中心製程、薄膜、檢測團隊共同研發藉由液態承載元件以穿透式電子顯微鏡檢測液態樣品技術。本團隊更突破傳統技術,樣品不需稀釋,使流動性差液態樣品皆能進行液態、膠態、濕式或含水型式的粒徑、粒徑分布、形狀、成分組成及聚集/團聚狀態之分析。

  • 生醫暨非破壞性技術團隊

本團隊自製多光子激發掃描顯微鏡系統,飛秒脈衝雷射激發波長可從680 nm至1600 nm,在生醫應用上也可依照不同的螢光染料選擇要接受的訊號波段。利用非線性光學原理,掃描解析度可在300 nm以下,能夠降低散射效應,有利於觀察高散射性樣本。針對二維材料,使其原子邊緣和邊界可以直接利用光學成像,此技術為研究和運用新興的二維材料和元件提供了新的途徑。系統應用亦包含:細胞內部顯微影像、大面積快速掃描、非侵入式Z軸光學切片掃描、生物組織病理影像檢測、膠原蛋白及彈力蛋白倍頻訊號觀測、非線性光譜訊號偵測、發光材料缺陷偵測。

  奈米標章實驗室

本中心「奈米技術產品測試實驗室」於2007年正式登錄為經濟部「奈米標章實驗室」,並通過全國認證基金會(TAF)評鑑,現階段已成為國內具備奈米尺度、功能性,以及生物相容性檢測的奈米標章實驗室,且符合國際ISO 17025測試實驗室標準,執行奈米尺度量測、奈米功能性及生物相容性檢測,協助廠商將測試結果取得經濟部奈米標章認證,亦接受政府採購、公司內部品質管理、出口貿易等檢測服務。

   帶動周遭區域發展

本中心緊鄰台南科學園區、沙崙綠能科學城、路竹科學園區、多所大學與國高中,除了提供先進的儀器設備給相關之廠商與學校外,更積極建立產、官、學、研之鏈結,使本中心成為南部微奈米科技發展之平台與樞紐。