微奈米科技研究中心 Center for Micro/Nano Science and Technology, CMNST

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微奈米中心

全部儀器列表

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奈米微影製程 – 微影 Lithography

編號

儀器名稱

儀器
介紹

SOP
下載

參數測試/
權限時限

工程師

1101

電子束微影系統(含鄰近效應校正系統)
(Electron Beam Lithography System)

 

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月

楊穎枚
鍾崇仁

1102

雙面對準/UV光感奈米壓印機
(Double-Side Mask Aligner/ UV Imprinter)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/doc.gifhttp://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:6個月

蔡姿婷

1103

單面光罩對準機
(Single-Side Mask Aligner)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:6個月

蔡姿婷

1104

雙面光罩對準機
(Double-Side Mask Aligner)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:6個月

蔡姿婷

1105

CO2雷射雕刻系統
(CO2 Laser Micro-Machining System)

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http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/download.gif
權限:6個月

陳子欣
黃秋華

1106

旋轉塗佈儀
(Spin Coater)

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http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/doc.gif

權限:無限制

黃瀞儀

1107

旋轉塗佈儀 II
(Spin Coater II)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

  權限:6個月 黃瀞儀
  紫外線固化式奈米壓印機
(ITRI UV-Curing nanoimprinter)
http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif 權限:6個月

賴修偉

  紫外線固化式奈米滾印機
(ITRI UV-Curing roller-nanoimprinter)
http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif 權限:6個月

賴修偉



奈米微影製程 - 蝕刻 Ething

編號

儀器名稱

儀器
介紹

SOP
下載

參數測試/
權限時限

工程師

1201

反應式離子蝕刻機
(Reactive Ion Etching)

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http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/download.gif
權限:6個月

黃秋華
鍾崇仁

1202

奈米深蝕刻系統(感應耦合離子電漿)
(Inductive Coupled Plasma Etching System)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月

黃秋華
鍾崇仁

1203

化學濕式操作台 Chemical Wet Bench
(Clean, Organic, Acid, Alkaline Processing)

  http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif 權限:無限制 黃瀞儀
1205

金屬蝕刻系統(感應耦合電漿離子蝕刻機)
(ICP RIE System)

  http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/doc.gifrecipe 權限:3個月

黃秋華
鍾崇仁



奈米微影製程 – 後處理 Back End

編號

儀器名稱

儀器
介紹

SOP
下載

參數測試/
權限時限

工程師

1301

晶圓切割機
(Wafer Cutting Machine)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif
認証題目


權限:3個月

楊穎枚

1302

奈米壓印-熱壓成型奈米轉印機
(Nano Hot Embosser)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/doc.gif


權限:6個月

蔡姿婷

1303

二氧化碳超臨界乾燥機
(CO2 Supercritical Dry Release Machine)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:6個月

陳子欣
黃秋華

1304

打線機
(Wire Bonding)

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http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/doc.gif

權限:6個月

陳子欣


奈米表面與磊晶 – 薄膜成長 Deposition/Furnance

編號

儀器名稱

儀器
介紹

SOP
下載

參數測試/
權限時限

工程師

2101 電漿輔助式分子束磊晶系統
(Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy System)
http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/doc.gif 權限:3個月

蔡淑如
郭威慶

2102

電子束蒸鍍機 I
( E-beam Evaporator I)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif


權限:3個月

甯超群

2103

電子束蒸鍍機 II
(E-beam Evaporator II)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif


權限:3個月

甯超群

2104

磁控濺鍍機
(Magnetron Sputter Deposition System)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif


權限:6個月

郭英祥

2105

共濺鍍機
(Co-Sputter Deposition System)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

 

權限:6個月

鄭鈞鴻

2106

聚對二甲基苯沉積系統
(Parylene Vapor Deposition System)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/doc.gif


權限:6個月

簡秀真

2107

快速退火爐
(Rapid Thermal Annealing Furnace, RTA)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:6個月

簡秀真

2108 3吋化學氣相沉積石墨烯設備
(3 Inch Chemical Vapor Deposition for Graphene)
http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月

甯超群

2109 1&2吋化學氣相沉積石墨烯設備
(1 & 2 Inch Chemical Vapor Deposition for Graphene)
http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月

甯超群
鄭鈞鴻


奈米表面與磊晶 – 掃描探針 SPM/Electronic Property

編號

儀器名稱

儀器
介紹

SOP
下載

參數測試/
權限時限

工程師

2201

表面粗度儀
(Alpha-Step Profilometer)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月

郭威慶

2202 原子力顯微鏡
(Atomic Force Microscope, NTMDT-AFM)
  http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/doc.gif 權限:3個月

郭威慶
蔡淑如

2204
(Multi-Functional Scanning Probe Microscope, Dimension Icon)
  http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/doc.gif 權限:3個月 郭威慶
蔡淑如
2205 半導體元件量測平台
(Measurement Station for Electrical Characterization)
    權限:3個月 郭威慶

奈米表面與磊晶 – 奈米壓痕 Indentation

編號

儀器名稱

儀器
介紹

SOP
下載

參數測試/
權限時限

工程師

2301

奈米壓痕試驗機 I (含三維量測)
(Nano-Indentation System I, MTS XP)

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http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gifhttp://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif


權限:3個月

簡秀真

2302

奈米壓痕試驗機 II
(Nano-Indentation System II, MTS G200)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月

簡秀真

2303

奈微拉伸試驗機
(Micro/Nano Tensile Tester)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:6個月

簡秀真



奈米材料分析 – 試片製備 Sample Preparation

編號

儀器名稱

儀器
介紹

SOP
下載

參數測試/
權限時限

工程師

3101

雙束型聚焦離子束儀 I  
(Dual Beam-Focused Ion Beam I, FEI Nova-200)

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http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gifhttp://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月

賴修偉
王彥茹

3102

精密離子拋光機
(Precision Ion Polishing System)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:無限制

曾湜雯
陳怡辰

3103 鍍金機(Sputter Coater)  

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/doc.gif

權限:無限制 梁美蘭
曾湜雯
3104 研磨拋光機(Grinder and Polisher) http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/doc.gif

權限:無限制 梁美蘭
王彥茹
3105

雙束型聚焦離子束儀 II
(Dual Beam-Focused Ion Beam II, Helios G3 CX)

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http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月

梁美蘭
賴修偉



奈米材料分析 – 掃描式電子顯微鏡 SEM

編號

儀器名稱

儀器
介紹

SOP
下載

參數測試/
權限時限

工程師

3201

高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡 I
(FE-SEM I w EDS/CL/EBW, JEOL JSM-7000F)

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http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gifhttp://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif
http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月


王彥茹

3202

高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡 II
(FE-SEM II w EDS/EBSD, JEOL JSM-7001F)

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http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gifhttp://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif
http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月

王彥茹
賴修偉

3204

桌上型掃描式電子顯微鏡
(Tabletop SEM)

 

 

權限:3個月

賴修偉
曾湜雯


奈米材料分析 – 穿透式電子顯微鏡 TEM

編號

儀器名稱

儀器
介紹

SOP
下載

參數測試/
權限時限

工程師

3301 穿透式電子顯微鏡
(TEM, JEOL JEM-2010)
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http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/doc.gif
權限:3個月 陳怡辰
曾湜雯
3302

高解析場發射掃描穿透式電子顯微鏡
(FE-TEM w EDS/EELS, JEOL JEM-2100F)

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http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月

曾湜雯
陳怡辰

3303 In-Situ 奈米壓痕試驗機
(In-Situ Nano-Indentation System @ TEM)
    權限:3個月 簡秀真
陳怡辰

生醫暨非破壞性分析 – 光學顯微鏡 Optical Microscopy

編號

儀器名稱

介紹/代
工實例

SOP
下載

參數測試/
權限時限

工程師

4101

多光子激發掃描顯微鏡
(Multiphoton Excitation Microscope)

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http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月

劉淑白
林光儀

4102 共軛焦顯微鏡
(Confocal Microscope)
暫不
開放
  權限:3個月 李芃葶
4103

光學顯微鏡
(Optical Microscope)

 

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:6個月 劉淑白
4104 共軛焦 3D 光學表面形貌量測儀
(Nano Focus)
暫不
開放
     

生醫暨非破壞性分析 – 光學檢測 Property Analysis/Defection

編號

儀器名稱

介紹/代
工實例

SOP
下載

參數測試/
權限時限

工程師

4201 微拉曼及微光激發光譜儀(含低溫)
(Micro-Raman & Micro-PL Spectrometer)

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林光儀
4202

拉曼光譜儀/顯微鏡
(Raman Spectrometer/Microscopes)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月

李芃葶

4203 傅立葉轉換紅外光光譜儀
(Fourier Transform Infrared Spectrometer)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gifhttp://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif 權限:3個月 李芃葶
4204 紫外光-可見光-近紅外光分光光譜儀
(UV/Visible/NIR Spectrophotometer)
http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif 權限:3個月 李芃葶
4205

橢圓偏光儀
(Ellipsometer)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月

劉淑白

4206

接觸角量測儀
(Contact Angle Meter)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:6個月

蔡宜庭


生醫暨非破壞性分析 – 晶體分析 Lattice Microanalysis

編號

儀器名稱

介紹/代
工實例

SOP
下載

參數測試/
權限時限

工程師

4301

X光繞射儀
(X-Ray Diffractometer)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月

蔡宜庭

4302

動態光散射儀
(Dynamic Light Scattering)

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http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:6個月

蔡宜庭

4303

奈米粒子追蹤分析儀
(Nanoparticle Tracking Analysis)

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/book_0019.gif

http://cmnst.ncku.edu.tw/ezfiles/23/1023/img/127/pdf.gif

權限:3個月

蔡宜庭
林光儀