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微奈米科技研究中心 Center for Micro/Nano Science and Technology, CMNST
歡迎光臨 成功大學 微奈米科技研究中心!!
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分類清單
最後更新日期   
2015-03-26

旋轉塗佈儀加強課程A班
本中心新購旋轉塗佈儀,為讓使用者熟悉新介面,特開設免費訓練班,
請2014年7月~2015年2月參加並認證通過旋轉塗佈儀課程者報名。

每班限員18名,將由授課員聯絡、進行分組,超過者另行開班。

上課時間:2015年4月7日,星期二
上課地點:儀器設備大樓B1,本中心無塵室
報名截止日期:2015年4月5日
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成功大學微奈米科技研究中心  2015 奈米表面分析與製程技術發表會

成功大學微奈米科技研究中心  2015 奈米表面分析與製程技術發表會

【發表會概要】:

    近年來的熱門材料石墨烯 (graphene),是碳原子以蜂巢狀排列僅單原子層的二維材料,在室溫下有極優異的機械和光學特性,一般石墨烯藉由化學氣相沈積 (CVD) 的方式成長於金屬催化劑上,再將石墨烯轉移(transfer)至透明或Si基板。本中心發展石墨稀研究,架設CVD、建立轉移技術及購置Bruker Dimension ICON SPM系統,從成長至分析一次到位,除了可轉移大面積、高純度的石墨烯,還可進行品質檢測、表面形貌、電信分佈、機械性質等量測,可提供使用者各方面的技術協助與檢測服務。

    Bruker Dimension ICON SPM系統為南台灣唯一一台對外開放並具有整合新掃描模式(PeakForce)與電性量測之設備,具有低漂移、低掃描力道等優點,並可放入8吋晶圓進行掃描,穩定度及再現性極高,除對平坦之二維材料有很高的解析度之外,還可分析電流分佈、功函數分佈等等,並可在液態下進行生物樣品掃描,較低的掃描力道使之亦可掃描軟性或具有粘性的樣品,因此不僅在學術界應用相當廣泛,亦可提供業界完善且精準的量測服務。

奈米微影製程是一種將光學、電學、材料學、物理學…等理念實現的過程,在這過程中,不管是新創的概念或是承襲文獻的製程,往往遭遇許多製程上的困難,因為製程是一門講求訣竅(Know-how)的學問,除了基礎知識之外更需要經驗的累積;本中心已建立之混搭(Mix-and-Match)製程,整合多種製程技術,包含傳統光學曝光、先進電子束微影製程與電漿蝕刻製程,並納入金屬導線製作與晶圓切割的製程技術,進一步整合到微米甚至更大尺寸的元件或系統,包含關鍵的奈米與微米製程整合製程,可兼顧大面積圖案與奈米尺度之特徵尺寸;本中心的製程團隊具有多年之元件製造經驗,已開發各種製程間之整合,將各製程設備進行點、線、面的串聯,進行各式之元件製造,可提供使用者各式元件製程上之解決方案。

時間】: 2015年4月22日(星期三) 下午14:00 ~ 16:30

【地點】:國立成功大學 自強校區 科技大樓四樓微奈米中心會議室(9064室)

【主辦單位】:國立成功大學微奈米科技研究中心

【協辦單位】:布魯克台灣生命科學股份有限公司

 

4月22日,星期三

時 間

議    程

發    表    者

13:30-14:00 報到

 

14:00-14:30

奈米製程整合製程

(電子束微影對準、鄰近效應修正、

乾式電漿蝕刻、濕式矽深蝕刻)

國立成功大學微奈米科技研究中心

鍾崇仁 博士

 

14:30-15:00

 

奈米表面技術發表會

國立成功大學微奈米科技研究中心

莊鎮宇 博士

 

15:00-16:00

 

Dimension ICON新機說明會

台灣布魯克生命科學股份有限公司

陳彥甫 先生

16:00- 16:30 Open discussion & coffee break

報名網址:http://cmnst.ncku.edu.tw/

聯絡人/電話/ e-mail:許郁佩小姐  (06)2757575ext31380#203 / yupei@mail.ncku.edu.tw

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活動花絮
本中心副中心主任鄧熙聖教授及特聘研究員張守進教授榮獲科技部103年度傑出研究獎!

本中心全體同仁敬賀

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